GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

标准详情：

GB/T 24469-2009

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体 5N氯化氢
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2009-10-15
实施日期：2009-12-01
代替标准：被GB/T 14602-2014全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)

起草单位

北京华宇同方化工科技开发有限公司、信息产业部标准化四所、光明化工研究设计院、

起草人

张吉瑞、孙福楠、刘筠、

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