GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

标准详情:

GB/T 42276-2022

国家标准推荐性
  • 中文名称:氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法
  • CCS分类:H17
    ICS分类:77.040
  • 发布日期:2022-12-30
    实施日期:2023-04-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:中国有色金属工业协会
  • 标准分类:冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了用电感耦合等离子原子发射光谱法测定锆及锆合金中铝、铍、钴、铜、铬、钙、铁、锗、铪、钾、锂、锰、镁、钼、铌、镍、钠、铅、硅、锡、钽、钛、钒、钨、锌含量的方法。本文件适用于海绵锆、锆及锆合金中合金及杂质元素含量的测定。

起草单位

新特能源股份有限公司、瑞士万通中国有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青岛瓷兴新材料有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、

起草人

银波、邱艳梅、李素青、张吉武、王港、李玫、侯倩慧、王晓娇、崔巍、刘国霞、黄彬、宋炳信、鲁文锋、张正霞、吴英良、曹家凯、高裕昆、

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