GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
标准详情：
GB/T 30656-2023
国家标准推荐性即将实施
- 中文名称：碳化硅单晶抛光片
- CCS分类：H83
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2023-03-17
- 实施日期：2023-10-01
- 代替标准：代替GB/T 30656-2014
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：中国机械工业联合会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了蒸气压缩循环水源高温热泵机组（以下简称“机组”）的型式和基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存。本文件适用于工业及商业用途的、采用以电动机驱动的蒸气压缩式系统、使用侧出水温度不低于55℃的水源热泵机组。
起草单位
北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院物理研究所、安徽长飞先进半导体有限公司、
起草人
陈小龙、彭同华、刘春俊、李素青、郑红军、杨建、佘宗静、王波、郭钰、娄艳芳、骆红、钮应喜、
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