YS/T 1508-2021 钯蒸发料
标准详情:
YS/T 1508-2021
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称:钯蒸发料
- CCS分类:H68
- ICS分类:77.150.99
- 发布日期:2021-12-02
- 实施日期:2022-04-01
- 代替标准:
- 行业分类:制造业
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门:工业和信息化部
- 标准分类:冶金有色金属产品其他有色金属产品制造业YS 有色金属
内容简介
行业标准《钯蒸发料》,主管部门为工业和信息化部。
本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
起草单位
有研亿金新材料有限公司、成都光明派特贵金属有限公司、北京翠铂林有色金属技术开发中心有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所
起草人
侯智超、高岩、贺昕、石映奔、王鹏、牟冉冉、滕海涛、罗瑶、张巧霞、吕保国、董亭义、王炜
相近标准
20211881-T-609 水泥压蒸安定性试验方法
GB/T 26028-2010 铝蒸发料
GB/T 26032-2010 镍蒸发料
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