DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
标准详情：
DB32/T 4378-2022
地方标准-江苏省推荐性现行
- 中文名称：衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
- CCS分类：B61
- ICS分类：65.020.40
- 发布日期：2022-10-23
- 实施日期：2022-11-23
- 代替标准：
- 行业分类：，农业
- 技术归口：江苏省石墨烯检测标准化技术委员会
- 发布部门：江苏省市场监督管理局
- 标准分类：农业江苏省
内容简介
本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10-4Ω × 104Ω。
地方标准《衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法》，主管部门为江苏省市场监督管理局。
起草单位
江苏省特种设备安全监督检验研究院（国家石墨烯产品质量检验检测中心（江苏））、苏州晶格电子有限公司、河南煜合科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司
起草人
杨永强、丁海龙、区炳显、谢一麟、陈武魁、刘禹、魏宁、呼志跃、王云超、王勤生、马龙、李璐、屈晓兰、陈辉、秦继恩
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- 标准质量：
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