DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
标准详情：
DB53/T 500-2013
地方标准-云南省推荐性废止
- 中文名称：多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
- CCS分类：G10
- ICS分类：71.040.40
- 发布日期：2013-08-01
- 实施日期：2013-10-01
- 代替标准：
- 行业分类：制造业，化工技术
- 技术归口：云南省质量技术监督局
- 发布部门：云南省质量技术监督局
- 标准分类：化工技术制造业云南省
内容简介
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。
地方标准《多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。
起草人
赵建为、张云晖、亢若谷、马启坤、陶明、杨红燕、钱津旺、金波、于晓艳、左世芳、
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