DB53/T 618-2014 气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
标准详情：
DB53/T 618-2014
地方标准-云南省推荐性现行
- 中文名称：气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
- CCS分类：G10
- ICS分类：71.040.40
- 发布日期：2014-08-28
- 实施日期：2014-12-01
- 代替标准：
- 行业分类：制造业，化工技术
- 技术归口：云南省检验检测标准化技术委员会
- 发布部门：云南省质量技术监督局
- 标准分类：化工技术制造业云南省
内容简介
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定.
地方标准《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量》由云南省检验检测标准化技术委员会归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。
起草人
张云晖、金波、马启坤、徐远志、杨红燕、于晓艳、赵祖乔、亢若谷、白荣林、徐灵通、赵建为、左世芳、陶明、
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