DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
标准详情：
DB35/T 1146-2011
地方标准-福建省推荐性现行
- 中文名称：硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
- CCS分类：H80
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2011-04-10
- 实施日期：2011-07-10
- 代替标准：
- 行业分类：科学研究和技术服务业，电气工程
- 技术归口：中国科学院福建物质结构研究所
- 发布部门：福建省质量技术监督局
- 标准分类：电气工程科学研究和技术服务业福建省
内容简介
本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（GDMS)所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、Na、Mg、A 1、P、K、Th、U等元素的测定
地方标准《硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法》由中国科学院福建物质结构研究所归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。
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