GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板

标准详情：

GB/T 34178-2017

国家标准推荐性

中文名称：光掩模石英玻璃基板
CCS分类：Q35
ICS分类：81.040.30
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
代替标准：
技术归口：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
发布部门：中国建筑材料联合会
标准分类：玻璃和陶瓷工业玻璃玻璃产品

内容简介

国家标准《光掩模石英玻璃基板》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口，主管部门为中国建筑材料联合会。
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

起草单位

中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院、

起草人

吴洁、王京侠、花宁、刘焕敏、张浩运、杨晓会、张应语、王友军、李弋舟、肖颂华、聂兰舰、杨学东、孔敏、

相近标准

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
20204845-T-339 嵌入式基板测试方法
20220107-T-339 刚性有机封装基板通用规范
20213141-T-609 石英玻璃光谱透射比试验方法
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错