GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件

内容简介

国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC，TiCN，TiAIN等)。

起草单位

武汉材料保护研究所、

起草人

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