GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法
标准详情：
GB/T 29190-2012
国家标准推荐性现行
内容简介
国家标准《扫描探针显微镜漂移速率测量方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
起草单位
中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院、
起草人
黄文浩、陈宇航、褚家如、李家文、李源、傅云霞、
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