GB/T 23611-2009 金靶材
标准详情:
GB/T 23611-2009
国家标准推荐性现行
- 中文名称:金靶材
- CCS分类:H68
- ICS分类:77.120.99
- 发布日期:2009-04-15
- 实施日期:2010-02-01
- 代替标准:
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门:中国有色金属工业协会
- 标准分类:冶金有色金属其他有色金属及其合金
内容简介
国家标准《金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司、
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