GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
标准详情：
- 中文名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
- CCS分类：H17
- ICS分类：77.040.01
- 发布日期：2006-07-18
- 实施日期：2006-11-01
- 代替标准：代替GB/T 8758-1988,GB/T 8758-1989
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会,全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合
内容简介
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）、全国有色金属标准化技术委员会联合归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。
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