GB/T 26069-2010 硅退火片规范
标准详情：
GB/T 26069-2010
国家标准推荐性废止
- 中文名称：硅退火片规范
- CCS分类：H80
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2011-01-10
- 实施日期：2011-10-01
- 代替标准：被GB/T 26069-2022全部代替
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《硅退火片规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于线宽l80nm、130nm和90nm：工艺退火硅片。
起草单位
万向硅峰电子股份有限公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份公司、
起草人
楼春兰、孙燕、王飞尧、黄笑容、朱兴萍、宫龙飞、方强、
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