GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
标准详情：
GB/T 14140-2009
国家标准推荐性现行
- 中文名称：硅片直径测量方法
- CCS分类：H82
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2009-10-30
- 实施日期：2010-06-01
- 代替标准：代替GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《硅片直径测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 u3000u3000本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为Φ300mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。
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