GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

内容简介

国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。 本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度（AB－EPD）的检验。检验面为（100）面。测量范围小于 5 X10 cm

起草单位

北京有色金属研究总院、

起草人

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