GB/T 12962-2015 硅单晶
标准详情:
GB/T 12962-2015
国家标准推荐性现行
- 中文名称:硅单晶
- CCS分类:H82
- ICS分类:29.045
- 发布日期:2015-12-10
- 实施日期:2017-01-01
- 代替标准:代替GB/T 12962-2005
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《硅单晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅单晶的牌号及分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的硅单晶。产品主要用于制作半导体元器件。
起草单位
有研新材料股份有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、万向硅峰电子股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、广东泰卓光电科技股份有限公司、
起草人
孙燕、张果虎、楼春兰、王飞尧、徐新华、杨素心、张雪囡、黄笑容、朱兴萍、何良恩、由佰玲、李丽妍、
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