GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

标准详情：

GB/T 30654-2014

国家标准推荐性

中文名称：Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040.20
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验金属材料无损检测

内容简介

国家标准《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底（A120、ZnO等）或半导体衬底（GaN、Si、GaAs、SiC等）上外延生长的氮化物（Ga，In，A1）N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。

起草单位

中国科学院半导体研究所、

起草人

孙宝娟、赵丽霞、李晋闽、王军喜、曾一平、

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