GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法

标准详情：

GB/T 33763-2017

国家标准推荐性

中文名称：蓝宝石单晶位错密度测量方法
CCS分类：H25
ICS分类：77.040
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。本标准适用于抛光加工后位错密度为0个／cm2~100000个／cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为｛0001)、{1120)、{1012)、{1010｝面。

起草单位

江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、深圳市中安测标准技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、

起草人

薛抗美、黄修康、田野、张永波、杭寅、尹继刚、张毅、

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