GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

标准详情：

GB/T 11068-2006

国家标准推荐性

中文名称：砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040.01
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
代替标准：代替GB/T 11068-1989
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会,全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：中国有色金属工业协会
标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）、全国有色金属标准化技术委员会联合归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法，适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围：1×10cm～5×10cm。

起草单位

北京有色金属研究总院、

起草人

王彤涵、

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