GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法

标准详情:

GB/T 31093-2014

国家标准推荐性
  • 中文名称:蓝宝石晶锭应力测试方法
  • CCS分类:H22
    ICS分类:77.040.10
  • 发布日期:2014-12-22
    实施日期:2015-09-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料机械试验

内容简介

国家标准《蓝宝石晶锭应力测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。 本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭的应力测试可参照使用。

起草单位

协鑫光电科技(江苏)有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、

起草人

刘逸枫、魏明德、肖宗杰、徐养毅、杭寅、

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