GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法
标准详情:
GB/T 31093-2014
国家标准推荐性现行
- 中文名称:蓝宝石晶锭应力测试方法
- CCS分类:H22
- ICS分类:77.040.10
- 发布日期:2014-12-22
- 实施日期:2015-09-01
- 代替标准:
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:冶金金属材料试验金属材料机械试验
内容简介
国家标准《蓝宝石晶锭应力测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。 本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭的应力测试可参照使用。
起草单位
协鑫光电科技(江苏)有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、
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