GB/T 20724-2006 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

标准详情：

GB/T 20724-2006

国家标准推荐性

中文名称：薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
CCS分类：N53
ICS分类：71.040.99
发布日期：2006-12-25
实施日期：2007-08-01
代替标准：被GB/T 20724-2021全部代替
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学有关分析化学的其他标准

内容简介

国家标准《薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了用透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本方法适用于测定线度为10m～×10m、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度。

起草单位

北京科技大学、

起草人

柳得橹、

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