GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

标准详情：

GB/T 27760-2011

国家标准推荐性

中文名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
CCS分类：N04
ICS分类：19.020
发布日期：2011-12-30
实施日期：2012-05-01
代替标准：
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
发布部门：中国科学院
标准分类：试验试验条件和规程综合

内容简介

国家标准《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。

起草单位

国家纳米科学中心、

起草人

朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁、

相近标准

EJ/T 20176-2018 金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
GB/T 32262-2015 用于原子力显微镜检测的脱氧核糖核酸样品的制备方法
GB/T 40066-2021 纳米技术氧化石墨烯厚度测量原子力显微镜法
GB/T 28872-2012 活细胞样品纳米结构的磁驱动轻敲模式原子力显微镜检测方法
JB/T 9355-1999 原子吸收测量用校准溶液的制备方法
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GA 111-1995 表面材料的实体房间火试验方法
20213282-T-469 物理环境的人类工效学通过环境调查（物理量测量和人的主观评价）对环境进行评估
20202801-T-491 纳米技术亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错