GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

标准详情：

GB/T 31470-2015

国家标准推荐性

中文名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
CCS分类：N26
ICS分类：17.220.20
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：计量学和测量、物理现象电学、磁学、电和磁的测量电和磁量值的测量

内容简介

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司、中国电子技术标准化研究院、天津中环领先材料技术有限公司、

起草人

李雨辰、何秀坤、李翔、刘筠、刘兵、

相近标准

SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则
GB/T 29556-2013 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
GB/T 28632-2012 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标的线性
20214943-T-469 表面化学分析俄歇电子能谱和x 射线光电子能谱测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 28893-2012 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则
JB/T 6976-1993 俄歇电子能谱术元素鉴定方法
SJ/T 10457-1993 俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则
GB/T 30702-2014 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错