GB/T 31472-2015 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南

标准详情：

GB/T 31472-2015

国家标准推荐性

中文名称：X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
CCS分类：N26
ICS分类：17.220.20
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：计量学和测量、物理现象电学、磁学、电和磁的测量电和磁量值的测量

内容简介

国家标准《X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司、中国电子技术标准化研究院、天津中环领先材料技术有限公司、

起草人

李雨辰、何秀坤、李翔、刘筠、刘兵、

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