GB/T 28855-2012 硅基压力传感器
标准详情:
GB/T 28855-2012
国家标准推荐性现行
- 中文名称:硅基压力传感器
- CCS分类:N11
- ICS分类:17.100
- 发布日期:2012-11-05
- 实施日期:2013-02-15
- 代替标准:
- 技术归口:中国机械工业联合会
- 发布部门:中国机械工业联合会
- 标准分类:计量学和测量、物理现象力、重力和压力的测量
内容简介
国家标准《硅基压力传感器》由604-1(中国机械工业联合会)归口,主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了硅基压力传感器(以下简称传感器)的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存。本标准适用于硅基压力传感器。
起草单位
沈阳仪表科学研究院、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、传感器国家工程研究中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司等、
相近标准
JB/T 13359-2018 硅谐振式压力传感器
JB/T 10524-2005 硅压阻式压力传感器
GB/T 28854-2012 硅电容式压力传感器
JB/T 11206-2011 硅压阻式微型、薄型压力传感器
GB/T 26807-2011 硅压阻式动态压力传感器
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
YS/T 1485-2021 铁硅铝基复合吸波材料
20204974-T-469 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
20204972-T-469 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。