GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语
标准详情：
GB/T 23414-2009
国家标准推荐性现行
- 中文名称：微束分析 扫描电子显微术 术语
- CCS分类：N33
- ICS分类：37.020;01.040.37
- 发布日期：2009-04-01
- 实施日期：2009-12-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：综合、术语学、标准化、文献成像技术词汇光学设备成像技术（词汇）
内容简介
国家标准《微束分析 扫描电子显微术 术语》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
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