GB/T 43748-2024 微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

标准详情：

GB/T 43748-2024

国家标准推荐性

中文名称：微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
CCS分类：N33
ICS分类：71.040.40
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
代替标准：
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了用透射电子显微镜／扫描透射电子显微镜（TEM/STEM）测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心、胜科纳米（苏州）股份有限公司、南方科技大学、

起草人

伍超群、于洪宇、周鹏、邱杨、程鑫、乔明胜、陈文龙、黄晋华、汪青、

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