GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

标准详情：

GB/T 35310-2017

国家标准推荐性

中文名称：200mm硅外延片
CCS分类：H82
ICS分类：29.045
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-07-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《200mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院、

起草人

马林宝、骆红、杨素心、杨帆、金龙、

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