GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

标准详情：

GB/T 34898-2017

国家标准推荐性

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
CCS分类：L55
ICS分类：31.200
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
代替标准：
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。

起草单位

北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心、

起草人

李庆丰、金小锋、程红兵、李海斌、朱悦、

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