GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓

标准详情:

GB/T 37007-2018

国家标准推荐性
  • 中文名称:电子级三甲基镓
  • CCS分类:G86
    ICS分类:71.100.20
  • 发布日期:2018-12-28
    实施日期:2019-04-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子级三甲基镓》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全。本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。分子式:C3H9Ga相对分子质量:114.83(按2013年国际相对原子质量计算)

起草单位

江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、

起草人

陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰、

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