GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
标准详情：
- 中文名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
- CCS分类：H17
- ICS分类：77.040
- 发布日期：2018-12-28
- 实施日期：2019-11-01
- 代替标准：代替GB/T 4059-2007
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：冶金金属材料试验
内容简介
国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.01×1013Cm-3~500×1013cm-3。
起草单位
江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、山东大海新能源发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所、
起草人
胡伟、耿全荣、柳德发、薛心禄、宗凤云、邱艳梅、楚东旭、刘翠、梁洪、唐珊珊、胡自强、鲁文锋、蔡延国、尹东林、刘国霞、高明、王瑞、姚利忠、王佳、
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