GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

标准详情：

GB/T 36705-2018

国家标准推荐性

中文名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×1017cm-3～1×1020cm-3。

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子技术标准化研究院、

起草人

郑树楠、张育民、王建峰、徐科、丁晓民、陆敏、石林、邱永鑫、付雪涛、杨素心、杨建、

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