GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
标准详情：
- 中文名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
- CCS分类：H17
- ICS分类：77.040
- 发布日期：2018-09-17
- 实施日期：2019-06-01
- 代替标准：代替GB/T 1557-2006
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：冶金金属材料试验
内容简介
国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω · cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω · cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度；以低温红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
起草单位
新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、峨嵋半导体材料研究所、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、
起草人
银波、夏进京、柴欢、赵晶晶、王海礼、邓浩、陈赫、石宇、邱艳梅、刘国霞、刘文明、姚利忠、高明、郑连基、杨旭、肖宗杰、
相近标准
SJ/T 10625-1995 锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法
SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
20214650-T-469 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
YB/T 4305-2012 钢铁及合金 氧含量的测定 惰性气体熔融-红外吸收法
YB/T 4566.9-2016 氮化钒铁 氧含量的测定 红外线吸收法
YB/T 4738-2019 硅钙合金 氧含量的测定 惰性气体熔融红外吸收法
EJ/T 20171-2018 金属铀及铀合金中氧含量的测定 脉冲加热惰气熔融-红外吸收法
GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
- 标准质量：
下载说明
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。