GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准详情：

GB/T 4060-2018

国家标准推荐性

中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
代替标准：代替GB/T 4060-2007
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、峨嵋半导体材料研究所、

起草人

胡伟、刘晓霞、王桃霞、胡自强、万烨、杨旭、耿全荣、鲁文锋、宗冰、肖建忠、

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