GB/T 36969-2018 纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

标准详情：

GB/T 36969-2018

国家标准推荐性

中文名称：纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
CCS分类：J04
ICS分类：17.040.20
发布日期：2018-12-28
实施日期：2018-12-28
代替标准：
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
发布部门：中国科学院
标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量表面特征

内容简介

国家标准《纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。

起草单位

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、

起草人

李慧琴、金承钰、韦菲菲、梁齐、何丹农、

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