GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

标准详情：

GB/T 37959-2019

国家标准推荐性

中文名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
CCS分类：J07
ICS分类：35.240.50
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
代替标准：
技术归口：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
发布部门：中国机械工业联合会
标准分类：信息技术、办公机械信息技术应用信息技术在工业中的应用

内容简介

国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

起草单位

中车信息技术有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、清华大学、中国石油规划总院、

起草人

顾明、程嘉、陈莉、曹自立、王海丹、王峰、李丽、季林红、张颖、黎晓东、

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