GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备

标准详情：

GB/T 37466-2019

国家标准推荐性

中文名称：氮化镓激光剥离设备
CCS分类：L95
ICS分类：31-550
发布日期：2019-06-04
实施日期：2019-10-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子产品生产设备

内容简介

国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN）基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、

起草人

孙永健、刘鹏、汪青、丁晓民、冯亚彬、

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