GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量阴极荧光显微镜法

标准详情：

GB/T 32282-2015

国家标准推荐性

中文名称：氮化镓单晶位错密度的测量阴极荧光显微镜法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《氮化镓单晶位错密度的测量阴极荧光显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。本标准适用于位错密度在1×10^3 个/cm2~5×10^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、

起草人

曾雄辉、张燚、刘争晖、邱永鑫、董晓鸣、牛牧童、王建峰、徐科、

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