GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件第410部分：单晶炉

标准详情：

GB/T 10067.410-2014

国家标准推荐性

中文名称：电热装置基本技术条件第410部分：单晶炉
CCS分类：K61
ICS分类：25.180.10
发布日期：2014-12-05
实施日期：2015-04-16
代替标准：
技术归口：全国工业电热设备标准化技术委员会
发布部门：中国电器工业协会
标准分类：机械制造工业炉电炉

内容简介

国家标准《电热装置基本技术条件第410部分：单晶炉》由TC121（全国工业电热设备标准化技术委员会）归口，主管部门为中国电器工业协会。
GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

起草单位

西安电炉研究所有限公司、西安理工晶科股份有限公司、国家电炉质量监督检验中心、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心、

起草人

陈巨才、李留臣、朱琳、袁芳兰、束天和、

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