GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

标准详情：

GB/T 34504-2017

国家标准推荐性

中文名称：蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)~92(U）号（除去铝和氧），且面密度在109atoms/cm2~1015atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。

起草单位

天通控股股份有限公司、

起草人

康森、宋岩岩、於震杰、邵峰、沈瞿欢、

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