GB/T 34649-2017 磁控溅射用钌靶
标准详情：
GB/T 34649-2017
国家标准推荐性现行
- 中文名称：磁控溅射用钌靶
- CCS分类：H68
- ICS分类：77.150.99
- 发布日期：2017-09-29
- 实施日期：2018-04-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品
内容简介
国家标准《磁控溅射用钌靶》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钉靶（以下简称钌靶）。
起草单位
有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、
起草人
罗俊锋、丁照崇、万小勇、刘书芹、贺昕、滕海涛、李勇军、向磊、熊晓东、王庄、高岩、
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