GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

标准详情：

GB/T 32650-2016

国家标准推荐性

中文名称：电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
CCS分类：L90
ICS分类：31.030
发布日期：2016-04-25
实施日期：2016-11-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素的测定方法。本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。

起草单位

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、中国电子技术标准化研究院、江苏太平洋石英股份有限公司、

起草人

李运强、薄雷明、许振午、武为民、冯亚彬、管琪、周文梅、

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