GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

标准详情：

GB/T 15870-1995

国家标准推荐性

中文名称：硬面光掩模用铬薄膜
CCS分类：L97
ICS分类：31.030
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《硬面光掩模用铬薄膜》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。

起草单位

长沙韶光微电子总公司、

起草人

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