GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则

内容简介

国家标准《半导体设施接口技术文件编写导则》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。 本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

起草单位

中国华晶电子集团公司、

起草人

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