GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

标准详情:

GB/T 16524-1996

国家标准推荐性
  • 中文名称:光掩模对准标记规范
  • CCS分类:L95
    ICS分类:31.200
  • 发布日期:1996-09-09
    实施日期:1997-05-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。 本规范适用于光掩模。

起草单位

中国科学院微电子中心、

起草人

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