GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

标准详情：

GB/T 16527-1996

国家标准推荐性

中文名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
CCS分类：L90
ICS分类：31.200
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。

起草单位

长沙韶光微电子总公司、

起草人

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