GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

标准详情：

GB/T 38447-2020

国家标准推荐性

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
CCS分类：L55
ICS分类：31.200
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
代替标准：
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

起草单位

北京大学、北京智芯传感科技有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京必创科技股份有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、中北大学、

起草人

张威、张亚婷、朱悦、石云波、周浩楠、陈得民、于振毅、陆学贵、李海斌、程逸轩、

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