GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材

标准详情：

GB/T 39159-2020

国家标准推荐性

中文名称：集成电路用高纯铜合金靶材
CCS分类：H62
ICS分类：77.150.30
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-10-01
代替标准：
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：中国有色金属工业协会
标准分类：冶金有色金属产品铜产品

内容简介

国家标准《集成电路用高纯铜合金靶材》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAI)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、宁波微泰真空技术有限公司、有研亿金新材料有限公司、

起草人

曹欢欢、袁海军、曾浩、边逸军、贺昕、慕二龙、姚力军、王学泽、钟伟华、周友平、高岩、江伟龙、

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