GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法

标准详情：

GB/T 39144-2020

国家标准推荐性

中文名称：氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040
发布日期：2020-10-11
实施日期：2021-09-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014cm-3。注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、东莞市中镓半导体科技有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、有色金属技术经济研究院、

起草人

马农农、何友琴、何烜坤、杨素心、颜建锋、倪青青、陈潇、刘立娜、闫方亮、杨丽霞、

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